平面定位精度分析仪 平面定位精度分析仪是一种半导体设备和精密机床等高端设备的性能测量评估仪器，具有操作门槛低，低成本、高效率、操作方便、任意轨迹测量等优点。其工作原理为：测量头通过刀柄/磁铁与主轴连接，标靶通过螺栓/磁铁与工作台固定。通过基于视觉的精密定位算法，求得主轴与工作台的实际运动轨迹，再与理论轨迹对比，从而求得多项误差参数。能够获得ISO230-4、GB17421.4等标准的检测报告。